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氧化爐,擴散爐,LPCVD設備廠家LOGO

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首頁 > 產品&服務 > 真空/氣氛爐系列 > 真空管爐系列

立式真空管式爐

產品性能：

◆高真空度，極限真空優于6.0×10-4Pa

◆快冷、真空、氣氛等控制，滿足客戶特殊工藝要求

◆工作溫度：500-1000℃/1200℃，高可靠性，高重復性

◆優化的反應室結構設計

◆溫度串級控制，更好的保證恒溫區的穩定性

◆研發型/小批量生產：10-30kg/爐


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