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產品性能:
◆垂直結構,高效產能,100~125片/批
◆穩定優良的成膜均勻性,重復性好
◆高精度可靠的自動壓力控制系統
◆微環境低氧控制先進技術
◆硅片顆粒度控制穩定,國際標準
◆全自動流程,AGV/OTH對接
◆高集成度,完整的工廠MES系統對接
◆符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標準
配套工藝:
◆氧化(干濕氧)、退火(N2,H2,快速退火)
◆多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2
◆磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG
◆TEOS,LTO,HTO,SIPOS...
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