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氧化爐,擴散爐,LPCVD設(shè)備廠家LOGO

產(chǎn)品&服務(wù)
首頁 > 產(chǎn)品&服務(wù) > 真空/氣氛爐系列 > 旋轉(zhuǎn)爐系列

設(shè)備特點： 

◆水平結(jié)構(gòu)，外熱旋轉(zhuǎn)，優(yōu)化的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)設(shè)計，滿足特殊工藝

◆高真空度，工藝真空優(yōu)于1.0×10-3Pa，保證材料特性

◆新型開合式加熱體，使用壽命長，恒溫區(qū)穩(wěn)定性好

◆工作溫度：500-1100℃，高可靠性，高重復(fù)性

◆快冷、真空、氣氛、壓力等控制，負壓/正壓自動控制

◆研發(fā)型：5-10kg/爐，生產(chǎn)型：50kg/爐，150kg/爐


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