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專業半導體裝備制造
配氣及綜合控制系統，通過計算機遠程終止顯示氣瓶柜/氣瓶架/配比柜等的運行狀態及實時數據，將各種特種氣體精確、安全的、按工藝要求的壓力和流量等供應至工藝設備，確保氣路系統安全、高效運行。
應用于半導體行業、電子材料、太陽能電池行業、生物工程、醫藥衛生、仿真等領域。
產品性能：
◆完善的安全警報裝置，具有氣體泄漏檢測報警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報警）、煙霧、火焰報警
◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動控制（含手動控制）
◆氣路設計合理完善，工作管路具備自動抽空、回充、壓力指示等功能，并帶有氣瓶稱重功能
產品分類
◆按瓶數分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）
◆按氣體分類：氣瓶柜（易燃/易爆/腐蝕/有毒氣體，SiH4、PH3、HCL等）氣瓶架（高純、氬氣、氧氣等）
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