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氧化爐,擴散爐,LPCVD設備廠家LOGO

產品&服務
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真空燒結爐

產品性能:

◆高真空度,工藝真空優于1.0×10-3Pa

◆快冷、高真空、氣氛等控制,滿足客戶特殊工藝要求

◆擴散滲鏑/鋱室+預沉積(涂覆/蒸鍍)室等

◆工作溫度:500-1000℃/1500℃/2400℃,高可靠性,高重復性

◆批量生產型(連續3-5室滲鏑爐),100Kg/爐,300Kg/爐


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