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專業半導體裝備制造
產品性能：
◆“熱解”+“分解”方式，節能、高效處理太陽能電池PECVD等設備的廢氣，將SiH4進行高溫熱解，將NH3直接進 行分解，無需氨水處理，無需燃燒。
◆處理能力，生產型：50SLM，生產型：400/600/1000/1500SLM
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